火湿法联合类的主要工艺为以氢气还原得到铟锡合金,合金再通过精细化的电解精炼进行铟锡的分离等;该技术的缺点是锡主要存在于阳极泥中,铟电解过程中的阳极残级率高,铟的回收率﹤98%。
采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验,在油浴温度132 ℃左右,蒸馏5 h左右,可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率;本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时,还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序,节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
ITO(氧化铟锡)靶材是溅射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一种,在显示靶材中占比将近50%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。
ITO靶材可应用于以下领域:(1)平板显示器(FPD)产业,如薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、液晶显示器(LCD)、高触摸屏(TouchPanel)、等离子管显示器(PDP)、有机电致发光显示(OLED)等;(2)光伏产业,如薄膜太阳能电池;功能性玻璃,如红外线反射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、飞机、汽车上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等。其中,平板显示器及太阳能电池是其主要应用领域。