在实际生产中,采用蒸馏法分离铟、锡时,可考虑采用微负压系统进行产业化生产的升级改进。通过改善工艺条件和调整技术参数等,以充分的降低能耗,并获得更好的铟、锡分离效果,这也是今后产业化试验研究的主要方向。
ITO靶材有中低端和高端之分:中低端ITO靶材有玻璃镀膜靶材、发热膜和热反射膜靶材,包括汽车的显示屏、一些仪器仪表的显示。高端ITO靶材主要用于显示器薄膜靶材、集成电路薄膜靶材以及磁记录和光记录膜靶材,尤其用于大面积、大规格的LED、OLED等领域,具备高密度、高纯度、高均匀性等特点。
中国已经是世界的ITO靶材需求国,在全球的比重将从2016年的40%提高到2019年的49%,则中国对ITO靶材的需求量从2016年的542吨增长到2019年的823吨。
目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场,仅占国内市场30%的份额;而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口,占据了70%的市场份额。