南京瑞尼克科技

主营:微波消解罐,高压消解罐,反应釜

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PFA清洗花篮铁氟龙花篮硅片清洗架晶圆运输盒

2022-02-17 12:00:01  215次浏览 次浏览
价 格:面议

用于半导体硅片,晶片,玻璃,液晶屏等清洗、腐蚀设备的承载花篮,太阳能电池片花蓝、太阳能硅片花蓝_太阳能硅片承载器、光伏电池片花蓝、光伏硅片花蓝,用于太阳能电池硅片清洗设备中,用于承载方形太阳能电池硅片,材质为PFA,本产品即在100℃以下的NaOH溶液、HCl溶液、HF等溶液中对硅片进行清洗、转换,且长期使、不污染硅片.

将装有待腐蚀硅片的片架放入浸润剂(FUJI FILM DRIWEL)中浸泡10—15S,上下晃动,浸润剂(FUJI FILM DRIWEL)的作用是减小硅片的表面张力,使得腐蚀液更容易和二氧化硅层接触,从而达到充分腐蚀;

2、将片架放入装有二氧化硅腐蚀液(氟化铵溶液)的槽中浸泡,上下晃动片架使得二氧化硅腐蚀更充分,腐蚀时间可以调整,直到二氧化硅腐蚀干净为止

二氧化硅腐蚀液腐蚀会伤及铝层,所以一般采用如下腐蚀液:冰乙酸:氟化铵=2:3。具体步骤为:

1、将装有待腐蚀硅片的片架放入浸润剂(FUJI FILM DRIWEL)中浸泡10—15S;

2、将片架放入装有腐蚀液(冰乙酸:氟化铵=2:3)的槽中浸泡,并且上下晃动片架;

3、将片架放入装有甲醇溶液(甲醇:纯水=1:1)的槽中浸泡;

4、在溢流槽中溢流冲水;

5、冲纯水;

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